DIN 50450-8-2000 半导体工艺材料的检验.载体气体和掺杂气体中杂质的测定.第8部分:用激光粒子计数器测定流动氮中粒子数的浓度
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时间:2024-05-16 19:15:19
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【英文标准名称】:Testingofmaterialsforsemiconductortechnology-Determinationofimpuritiesincarriergasesanddopantgases-Part8:Determinationoftheconcentrationoftheparticlenumberinflowingnitrogenusinglaserparticlecounter
【原文标准名称】:半导体工艺材料的检验.载体气体和掺杂气体中杂质的测定.第8部分:用激光粒子计数器测定流动氮中粒子数的浓度
【标准号】:DIN50450-8-2000
【标准状态】:作废
【国别】:德国
【发布日期】:2000-05
【实施或试行日期】:
【发布单位】:德国标准化学会(DIN)
【起草单位】:
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:气体;半导体;载气;掺杂气体;杂质;掺杂剂;半导体工程;半导体材料;含量;化合物;粒子浓度;试验;含量测定;材料;试验设备;化学分析和试验;测量;材料试验;氮;半导体工艺;分析;试样制备
【英文主题词】:
【摘要】:
【中国标准分类号】:H82
【国际标准分类号】:71_100_20
【页数】:5P;A4
【正文语种】:德语
【原文标准名称】:半导体工艺材料的检验.载体气体和掺杂气体中杂质的测定.第8部分:用激光粒子计数器测定流动氮中粒子数的浓度
【标准号】:DIN50450-8-2000
【标准状态】:作废
【国别】:德国
【发布日期】:2000-05
【实施或试行日期】:
【发布单位】:德国标准化学会(DIN)
【起草单位】:
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:气体;半导体;载气;掺杂气体;杂质;掺杂剂;半导体工程;半导体材料;含量;化合物;粒子浓度;试验;含量测定;材料;试验设备;化学分析和试验;测量;材料试验;氮;半导体工艺;分析;试样制备
【英文主题词】:
【摘要】:
【中国标准分类号】:H82
【国际标准分类号】:71_100_20
【页数】:5P;A4
【正文语种】:德语
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